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类金刚石镀膜设备的真空测量法
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类金刚石镀膜设备的真空测量法来源:中国五金商机日期:类金刚石镀膜设备真空测量是指用特定的仪器、对某一类金刚石镀膜设备空间内真空度高低的量度。类金刚石镀膜真空测量仪表好坏直接影响设备正常运行。
类金刚石镀膜设备真空螺旋输送机测量是指用特定的仪器、对某一类金刚石镀膜设备空间内真空度高低的量度。类金刚石镀膜真空测量仪表好坏直接影响设备正常运行。
类金刚石镀膜设备真空测量是指用特必须夹紧定的仪器、对某一类金刚石镀膜设备空间内真空度高低的量度。类金刚石镀膜真空测量仪表好坏直接影响设备正常运行。类金刚石镀膜真空计的种类很多，大体上可分绝对真空计和相对真空计两大类。类金刚石镀膜凡通过测定物理参数直接计出气体压强的真空计称为绝对真空计。类金刚石镀膜通过测量与压强有关物理量，并进行计算得到压强值的真空计称为相对真空计。类金刚石镀膜绝对真空计精度较高，一般作为标准用，在实际生产中，大都使用相对真空计。
相对类金刚石镀膜真空计的校准，类金刚石镀膜可用标准水银真空计进行对比校准。类金刚石镀膜在没有水银真空计的条件下，类金刚石镀膜可进行满偏和最新设计的计量模块零位校准。类金刚石镀膜满偏校准是指在大气压条件下，把真空计调至满偏，类金刚石镀膜零位校准是指达到最蒸炒锅高真空度进行调试或用未开封的玻璃真空规管进行校准（标准为5.5×10－3Pa）。
实际工作中，如何根据类金刚石镀膜设备的要求选用合适的真空计，按以下原则选用：类金刚石镀膜所用真空计的测量范除污机围应比被测压力范围宽1—2数量级。类金刚石镀膜对真空计精确度，重复性、可靠性的要求应满足工艺要求。类金刚石镀膜应注意真空计是否与被测气体种类有关。
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